반도체 오버레이(OVERLAY) 정의 및 ASML 포토 설비와의 관계
안녕하세요^^ 베네모아 입니다. 오늘은 반도체 오버레이(OVERLAY) 정의 및 ASML 포토 설비와의 관계에 대해 간단히 정리해보려고 합니다. 오버레이(Overlay) 정의 및 영향을 주는 8가지 요소 반도체는 수십억 개의 트랜지스터와 배선이 겹겹이 쌓여 만들어집니다. 이때 중요한 것이 바로 Overlay(오버레이), 즉 각 레이어가 서로 얼마나 정확히 맞춰지는가입니다. 아무리 한 층을 잘 만들어도, 그 위에 쌓이는 층이 조금이라도 어긋나면 전기가 … Read more